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High Quality Monolayer Graphene Synthesized by Resistive Heating Cold Wall Chemical Vapor Deposition

机译:电阻加热冷壁化学气相沉积合成高质量单层石墨烯

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摘要

The growth of graphene using resistive-heating cold-wall chemical vapor deposition (CVD) is demonstrated. This technique is 100 times faster and 99% lower cost than standard CVD. A study of Raman spectroscopy, atomic force microscopy, scanning electron micro­scopy, and electrical magneto-transport measurements shows that cold-wall CVD graphene is of comparable quality to natural graphene. Finally, the first transparent flexible graphene capacitive touch-sensor is demonstrated.
机译:证明了利用电阻加热冷壁化学气相沉积(CVD)来生长石墨烯。该技术比标准CVD快100倍,成本降低99%。对拉曼光谱,原子力显微镜,扫描电子显微镜和电磁传输测量的研究表明,冷壁CVD石墨烯的质量与天然石墨烯相当。最后,展示了第一款透明柔性石墨烯电容式触摸传感器。

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